石墨舟wafer污染可分哪幾種

　石墨舟污染分析及分類(lèi)：

　　1.正常情況下，硅烷氨氣，在高溫，高頻光輝放電的作用下會(huì)生成一層較清潔干凈，不可擦掉的氮化硅生成物，附著在爐壁上。隨著鍍膜次數(shù)的增加，爐壁的SIN層越厚。

　　2.在真空及氣流的作用下會(huì)產(chǎn)生流沙一樣的土黃色的SIN小顆粒。沉積到特氣孔法蘭內(nèi)，或分布于爐管的底部，及爐壁上。

　　3.由于氮?dú)獠磺鍧崳](méi)有安裝氮?dú)膺^(guò)濾器），在氮?dú)夤鼙谟邪咨w粒，在充氮?dú)饣貕簳r(shí)隨氮?dú)獾綘t管，附著到wafer或許石墨舟上，形成小白點(diǎn)。

　　4.在工藝制程結(jié)束后特氣管道吹掃不干凈（流量計(jì)異常），有濃度較低的硅烷。在出石墨舟過(guò)程中隨氮?dú)鉀_出，在特氣孔周?chē)鲅跞紵a(chǎn)生白色或許淡黃色的氧化硅霧狀附著物。

　　5.最嚴(yán)重的是硅烷羊角閥，或用流量計(jì)有漏，在沖N2時(shí)由于控制不好，會(huì)有濃度相對(duì)較高的SIH4漏出,在特氣孔處遇氧產(chǎn)生明火。燃燒產(chǎn)生的土灰色雪花狀漂浮物，會(huì)污染整個(gè)爐管，和石墨舟及舟內(nèi)wafer上。

　　根據(jù)以上分析爐管粉塵污染大致分為如下幾類(lèi)：

　　1.石墨舟舟片上淡黃色微顆粒；

　　2.石墨舟舟片上可去掉，或不可去掉小白點(diǎn)；

　　3.石墨舟舟片上黃色或者白色霧狀附著物（稱(chēng)為氣流異常）；

　　4.石墨舟舟片上雪花狀漂浮物；

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